ZYGO激光干涉仪操作规程

干涉仪电源开关和基本测量步骤

通电顺序

1.打开电脑和显示器

输入: 用户名: zygo

密码: 无

登录到操作系统

2，打开干涉仪主机的电源，将干涉仪预热15〜20分钟，使其稳定工作。

3.双击计算机桌面上的MetroPro图标，进入MetroPro测量软件。

打开电源开关，指示灯将点亮。

基本测量步骤

1.鼠标左键单击相应的测量应用程序图标，打开测试应用程序。

例如: 打开GPI.app

2，构建测试光路 (包括标准镜和样品)，调整干涉条纹，并参考后面的具体测量方法。

设置测试光路 (包括标准镜和样品) 并调整干涉条纹。在MetroPro软件中设置必要的测量参数，请参阅MetroPro软件手册。

3.单击软件中的Measure按钮或按键盘上的F1键完成测量并显示结果。

4.保存测试报告。用鼠标左键单击 “zygo” 符号以打印或保存窗口图像。

5.单击软件中的 “保存数据” 按钮以保存测试数据。

停车程序

1.关闭MetroPro软件

单击MetroPro右上角的X按钮，会弹出一个对话框，单击是关闭MetroPro软件。

2.关闭干涉仪的主要单元

关闭主机的电源开关，指示灯将熄灭。

3.关闭计算机和显示器。

安装变速器元件

警告!

在以下步骤中，请勿用手触摸透射元件。指纹会永久损坏光学

涂层和光学元件的表面。

1.抓住元件的金属边缘，将透射元件从其保护壳中取出。

2.将透射元件边缘的两个金属凸舌与主机调节支架上的两个相应插槽对齐。

警告!

当系统以垂直配置安装时，不要放开透射元件，直到通过以下步骤将其锁定到位。

3.轻轻地将透射元件卡入主机调整支架，用手握住group元件的金属边缘。转动黑色锁定旋钮

沿顺时针方向转动黑色锁定旋钮，这将把装置固定到调整支架上。

注意: 当需要从调节支架上卸下本机时，请用手从本机的金属边缘握住本机，同时沿逆时针方向旋转锁定旋钮。

当需要从调整支架上卸下模块时，用手从模块的金属框架上握住模块，并逆时针松开紧固螺钉。

校准透射元件

在使用干涉仪进行测量之前，必须先将透射元件与干涉仪对准，然后将测量样品与透射元件对准。

然后将测量样品与透射元件对准。下面描述如何对准透射元件。在 “测量表面质量” 中详细描述了校准测量样品。

测量表面质量 ”和“ 测量透射波前质量 ”。

1.确认灯条开关处于ON位置。(确保灯条开关处于ON位置。)

2.按遥控器上的对齐/查看按钮。校准后的目标十字线和一个或多个亮点将显示在监视器上。

在监视器上。最亮的点表示来自透射元件的最外表面的光反射。

测量表面质量

用透射元件校准待测量的样品。样品经过校准后，只需在MetroPro软件中按下测量键即可进行测量。无论干涉仪是垂直放置还是水平放置，通常认为测量腔 (或样品到标准反射镜的距离) 应尽可能大。

从样品到标准镜的距离) 尽可能短。这将最小化由气流引起的所测量的波前的失真。

安装透射平面 (TF) 参考镜: 将透镜上的两个金属销放入干涉仪调整框架上的滑块中。

1.滑动两个金属p镜头上的ins进入干涉仪调节支架上的插槽，握住镜头的金属框架并顺时针旋转镜头，然后拧紧侧面的锁定旋钮。

然后拧紧侧面的锁定旋钮。

2，对准标准镜头: 按遥控器的Align/VIEW按钮，将显示屏切换到ALIGN状态，十字准线灯丝的图像出现在平面内。调节干涉仪主机调节支架上的两个旋钮，直到屏幕上光线的最亮点位于十字丝的中心。3.

3.将待测样品放置在测量调节架上: 调节调节架倾斜旋钮，直到屏幕上被测部分的亮点也位于十字发际线的中心，与透镜的反射光点重合。

4，再次按遥控器的ALIGN/VIEW按钮，将显示屏切换到 “View”，干涉条纹应出现在屏幕上。按下缩放按钮以放大和缩小，以便要测量的表面的图像尽可能多地填充屏幕。5.

5.将一张纸或其他标记尽可能靠近要测量的部分，这将为聚焦提供明显的边缘。按遥控器上的对焦按钮对焦，使图像边缘到边缘，对焦使其边缘到边缘。

6.微调样品调整架的倾斜调整旋钮，使条纹归零 (使干涉条纹最小化)。

7.按下MetroPro上的MEASURE键或键盘上的F1键执行测量。

干涉仪主单元的维护

仪器使用安全注意事项

1，测量时请勿触摸主机或防振平台。

2，为了最大程度地减少休克的风险，必须通过电源输出将仪器良好地电气接地。

3，在干涉仪手册中阅读有关激光安全的说明。

4.不要移动主机。如果需要移动，请使用仪器顶部设计的两个特殊手柄，以

如果需要移动，请使用仪器顶部设计的两个特殊手柄小心移动，并且不要用手直接触摸压电陶瓷来用力移动它。

压电陶瓷是一种高精度结构，容易被力损坏，因此随时避免外力作用在其上。如图所示:

主机的维护

主单元实际上是免维护的，然而，在相对清洁的环境中操作仪器是非常重要的。

但是，在相对清洁的环境中操作仪器非常重要。如果需要清洁主机外壳，请按照以下步骤操作。

1.使用ph值适中的家具清洁剂，用蘸有少量清洁剂的软布擦去主机侧面和前面板上的指纹和灰尘。

面板，如指纹和灰尘。

2.使用干布清洁部件上的灰尘。请勿在光学器件附近使用清洁剂或喷雾剂。

镜片是带涂层的镜片，清洁喷雾可能会损坏表面。有关清洁镜头系统的部分，请参见

下一章中的 “清洁光学器件” 部分。

计算机部件的维护

有关计算机、彩色显示器、鼠标、键盘和打印机 (如果已安装) 等组件的维护，请参阅制造商提供的文档。

要维修的组件包括计算机、彩色显示器、鼠标、键盘和打印机 (如果已安装)。

如果您遇到问题并且无法找到问题，请联系Zygo。

光学元件的维护和清洁

光学器件的维护

如果在完成测量后长时间不使用干涉仪，请小心取下镜头和其他光学元件，并将它们存储在特殊的镜头盒中。

将它们存放在专用镜头盒中。

清洗光学元件

清洁任何精密光学元件可能会损坏表面。所有可清洁的透镜表面都被涂覆。

所有可清洁的透镜表面都被涂覆。不必要和不正确的清洁很容易损坏涂层。我们应该正确地握住我们的光学元件，并在不使用它们时将它们挡在外面。

组件正确，不用时将其放回其塑料外壳中，并保持清洁的环境，以最大程度地减少清洁循环次数。

应尽量减少清洁次数。

请勿尝试清洁主单位，因为这将影响系统性能。如有必要，请联系Zygo。

如有必要，请联系Zygo。

推荐的清洁材料

聚乙烯实验室手套

戴手套以防止设备表面受到污染，并保护您的皮肤免受有害和刺激性化学物质的接触。

物质。

带喷嘴的压缩气体

带有喷嘴的压缩气体用于吹走光学器件表面的灰尘和污垢。

镜面纸

必要时用于清洁光学元件表面。镜面纸应专门用于擦拭精密光学元件。

棉签

用于清洁难以触及的表面，棉签应由木材和纸，棉等材料制成。塑料棒溶于丙酮

塑料棒将溶解在丙酮中。

溶剂

使用光谱级异丙醇和甲醇清洁粘附在光学表面上的污染物。使用中性的1% 肥皂溶液或光学清洁剂。

浓缩肥皂溶液或光学清洁剂，以清洁油基污染物。

建议的清洁程序

警告!

使用异丙基乙醇和甲醇时必须小心; 它们易燃且有毒。请勿重复使用清洁湿巾; 重复使用会导致污垢粘附并损坏光学元件。

在清洁光学器件之前，请从手指和手腕上取下戒指等珠宝，仔细洗手以去除皮肤油脂，并戴上手套。

污染清洁程序

灰尘或细微污染

1.用喷嘴吹掉任何松散的，细小的灰尘或污染物。

2.如果仍然存在灰尘，请将两张镜纸包裹在木拭子周围，或折叠一张镜纸，使其刚好比要清洁的部分宽。

3.在纸上滴一滴乙醇或甲醇。

4.用它在一个方向上擦拭一次镜头。如果需要更多擦拭，请使用新的木拭子和镜面纸。指纹、油迹和水迹注意: 这种情况必须立即从表面清除。皮肤上的酸会损坏镜片表面。

5.用喷嘴吹掉任何小的松散灰尘或污垢。

6.如果仍然存在污垢，请在木棍上缠绕两张镜纸或折叠一张镜纸，使其刚好比要清洁的部分宽。

7.在纸上滴一滴1% 的肥皂溶液。

8.沿一个方向擦拭一次镜头。如果需要更多的擦拭，请使用新的棉签和纸。

9.使用用蒸馏水润湿的纸重复步骤2至4。为了擦去任何肥皂残留物。

10.用甲醇或乙醇润湿纸并重复步骤2至4。