快速转向反射镜 (FSM)

快速转向反射镜 (FSM) 的特点

快速转向反射镜 (FSM) 包含安装到弯曲支撑系统的反射镜，该弯曲支撑系统倾斜以引导激光束或其他光源。一组音圈致动器或涡流传感器用于提供定向运动，以实现完整的精度和低抖动功能。

该系统提供开环和闭环操作。对于闭环操作，集成的高速精密传感器用于提供完整的反馈控制系统。凭借其模块化设计，FSM可以在反射镜基板选择，孔径大小，倾斜度和控制电子设备方面提高灵活性，以满足任何任务要求。

百纳快速转向镜经过标准抛光，以干涉控制反射波前误差为例如 λ/8 PV @ 632，8nm。

• 高刚度

• 超轻重量

• 低惯性矩

• 高谐振频率

• 热稳定性

• 低动态平坦度PV

• 无毒 (铍替代)

快速转向镜是光电精密跟踪系统的重要组成部分，用于精确控制光束方向。反射镜响应速度快，控制精度高。它可以用于校正光路中的倾斜误差，也可以用于稳定光束的方向，也可以用于快速跟踪系统。快速反射镜在驱动元件的作用下控制反射镜的快速高频旋转，实现光束的高速精确指向、稳定和跟踪。

快速转向反射镜 (FSM) 的应用

l大地测量

l机载和空间扫描系统

l高功率激光材料加工uv-ir，如加工，标记，增材制造

l计量和晶圆检测

l生物/医学眼科

l用于定位应用的超高速扫描相机

l传感应用激光雷达