高功率激光光学-准分子激光反射镜

当准分子激光器在紫外范围内使用时，光学元件受到非常高的能量。此外，准分子激光器以脉冲模式工作，产生极短的脉冲和高的峰值强度。因此，准分子激光反射镜必须具有高的损伤阈值和耐久性。准分子激光器是经常使用氟的气体激光器。如果光学部件暴露于工艺气体，则基板和涂层两者必须是氟基的; 否则，它们将溶解。

百纳光学为所有准分子激光器 (157nm的F2激光器，193nm的ArF激光器，248nm的KrF激光器，308nm的XeCl激光器和351nm的XeF激光器) 制造光学组件。用于氟基准分子激光器的谐振器镜和输出耦合器由具有氟化涂层的CaF2或MgF2衬底制成，从而使它们可以与激光气体直接接触使用。输出耦合器通常提供高达R = 50% 的反射率。指定的反射率精度为 ± 3%。

157nm和193nm波长的偏转镜也基于CaF2基板上的氟化层系统。这确保了较高的损坏阈值和较长的使用寿命。波长超过248nm的偏转镜由石英玻璃基板上的UV兼容氧化物层系统制成。光束传递光学器件可以被设计用于任何入射角。具有45 ° 入射角的偏转镜作为标准部件提供。