CHANGCHUN BENA OPTICAL PRODUCTS CO., LTD.
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新型光学材料碳化硅的优点及制备

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    碳化硅 (SiC) 在大口径光学反射镜中的应用主要得益于其高比刚度、优异的热稳定性和宽光谱响应,使其成为空间观测和深空探测等领域的核心材料。以下是its应用中的关键进展和技术突破:

    优点:

    1. 高硬度:碳化硅 (SiC) 具有20-30 GPa (维氏6-7) 的硬度,使其高度耐磨损和机械损坏。

    2. 优异的导热性: 具有370 W/(m·K) 的热导率,SiC高效散热,这对于高功率光学应用至关重要。

    3. 低热膨胀:SiC的热膨胀系数为4.3x10 ^-6/°C,可最大程度地减少热变形并在不同温度下保持光学精度。

    4. 最高工作温度高:SiC可以承受高达1600 °C的温度,使其适用于高温环境。

    5. 化学稳定性:SiC对高温,酸和碱 (氢氟酸除外) 的腐蚀具有很高的抵抗力,可确保在恶劣条件下的耐用性。

    6. 轻量级:SiC比传统光学材料轻约70%,这有利于重量敏感的应用。

    7. 光学透明度:SiC具有良好的光学透明度,特别是在紫外 (UV) 范围内,使其适用于UV光学应用。

    8. 精密抛光:SiC可以进行高精度抛光,这对于高质量的光学表面至关重要。

    莫氏7

    特性

    碳化硅 (SiC)

    玻璃陶瓷

    熔融石英

    材料类型

    陶瓷/半导体

    玻璃陶瓷

    无定形二氧化硅

    硬度

    20-30 GPa (维氏)

    莫氏6-7


    导热系数

    370瓦/(m·K)

    1.5 W/(m·K)

    1.4 W/(m·K)

    热膨胀系数

    4.3 × 10-6/℃

    ≈ 0 (零膨胀)

    5.4 × 10-7/℃

    最高工作温度

    1600 ℃

    800 ℃

    1100 ℃

    化学稳定性

    耐酸碱 (HF除外)

    耐高温腐蚀

    耐酸 (HF除外),可能在高温下软化

    轻量级能力

    高 (70% 轻)

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    光学性能

    需要涂层

    良好的透光性

    最好的紫外线范围

    加工难度

    复杂

    可精密抛光

    易于加工但易碎

    典型应用

    半导体

    望远镜、陀螺仪

    UV光学,实验室器具

    成本

    制造业的技术突破

    镜子毛坯准备:使用类似于 &ldquo;制作豆腐” 的胶体成型工艺,将微米级的碳化硅粉末成型为镜坯,支撑复杂的轻质结构。三种制备工艺路线如下图所示:


    光固化/激光烧结成型 → CVD致密化

    <p style="vertical-align: middle ">工艺路线

    反应烧结 (rb-sic)

    化学气相沉积 (cvd-sic)

    3D打印CVD复合材料成型

    原材料

    碳化硅粉末碳粉粘结剂

    气态前体 (CHSiCl/H)

    碳化硅浆料/光敏树脂SiC纳米粉体

    成型方法

    压缩/注射成型 → 高温烧结 (1600-2000 &deg;C)

    石墨基底上的气相沉积 (1200-1400 &deg;C)


    轻质结构

    蜂窝孔的机械加工 (减重: 50%-60%)

    蜂窝/泡沫结构的直接沉积 (重量减轻: 70%-80%)

    拓扑优化设计 + 中空3D打印 (减重: >80%)


    致密化

    92%-95% (残余孔隙需浸渍填充)

    > 99.9% (全密度)

    85% (打印部件) + CVD致密化至99%


    表面粗糙度

    烧结后: Ra ~ 1 &mu; m (要求机械抛光至Ra <5 nm)

    沉积层: Ra ~ 10 nm (要求离子束抛光至Ra <0.5nm

    印刷层: Ra ~ 20 &mu; m (要求CVD层抛光至Ra <1 nm)


    热稳定性

    4.5 × 10再生/&deg;C (略高于cvd-sic)

    4.3 × 10再生/&deg;C (各向同性)

    与cvd-sic相当

    典型尺寸

    直径 &le; 2米 (受烧结炉限制)

    直径 &le; 4米 (分段沉积和拼接)

    理论上无限 (模块化印刷和拼接)


    References